作业帮各位大侠好,问一下我的真空组是旋片式真空泵+扩撒泵现在是低真空时显示为1PA,但是打开扩散泵后就先下降到0.7PA,然后就上升到7PA,请问是什么原因?油是刚换的,并且系统检漏是,没有发现漏点
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/04 09:46:57
各位大侠好,问一下我的真空组是旋片式真空泵+扩撒泵现在是低真空时显示为1PA,但是打开扩散泵后就先下降到0.7PA,然后就上升到7PA,请问是什么原因?油是刚换的,并且系统检漏是,没有发现漏点
各位大侠好,问一下我的真空组是旋片式真空泵+扩撒泵
现在是低真空时显示为1PA,但是打开扩散泵后就先下降到0.7PA,然后就上升到7PA,请问是什么原因?油是刚换的,并且系统检漏是,没有发现漏点,系统的总漏率为1.8*10-9
大侠好，我的泵也是下降到7*10-1啊还有我的设备以前一直使用正常，就是前几天，我忘了开冷却水，导致设备的真空度一直上不去。以前设备的能力可以达到7*10-3PA。现在难道是设备的焊接有问题，请大侠指教。
各位大侠好,问一下我的真空组是旋片式真空泵+扩撒泵现在是低真空时显示为1PA,但是打开扩散泵后就先下降到0.7PA,然后就上升到7PA,请问是什么原因?油是刚换的,并且系统检漏是,没有发现漏点
楼主都把我说糊涂了,这是一个问题么?
首先说上面的,上升到7Pa后还下降么?如果下降的话检查下你的机械泵的前级真空度,如果不下降的话除了检查机械泵前级,再检查你的冷阱.
再说补充,忘记开冷却水是个大忌,以后最好弄个条件控制,冷却水不开不能开扩散泵,扩散泵不能自己感应温度和压强而停止加热,当热量达到一定的情况下,内部压强急剧增大不只是设备受损,还有可能出现爆炸情况.解决这个问题的方法是将全面检查下你的管路、冷阱等,用丙酮等清洗干净,然后换泵判断是泵的问题还是管路的问题.
1、低真空段1PA,预抽回路正常~！
2、扩散泵先下降后上升，不排除扩散泵问题，如间隙变化太大！不清楚你使用哪家的扩散泵，但是最差的扩散泵也应该能达到-1数量级，可能性不大！
3、真的确定系统检漏没有问题？
4、不排除系统热泄漏的问题？注意产品材料的使用是否符合规格？各种密封焊缝是否正常！
5、你是电话咨询我的那个深圳的客户吗？虽然你说你是东莞的！
6、镀膜...
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1、低真空段1PA,预抽回路正常~！
2、扩散泵先下降后上升，不排除扩散泵问题，如间隙变化太大！不清楚你使用哪家的扩散泵，但是最差的扩散泵也应该能达到-1数量级，可能性不大！
3、真的确定系统检漏没有问题？
4、不排除系统热泄漏的问题？注意产品材料的使用是否符合规格？各种密封焊缝是否正常！
5、你是电话咨询我的那个深圳的客户吗？虽然你说你是东莞的！
6、镀膜机的话的这种情况罕见，工业炉不少见！
7、成都超迈机械！
收起
最有可能是泵油氧化，泵油氧化严重换一次油是不行的，要用丙酮将扩散泵腔体内认真清洗，有时要换好几次油，抽的时间长一点才行。如果没有漏点，很少有别的原因导致真空度上不去！